热门词条:净化工程|无尘车间|净化车间|洁净车间|无尘室|洁净室|无菌室|无菌车间设计施工
净化车间一站式制造供应商
设计定制、生产加工、整机装配、设备接线
客户咨询服务热线:
13222622258

       无尘车间,又称无尘室、洁无尘车间或清无尘车间,是指一个具有低污染水平的环境,这里所指的污染来源有灰尘,空气传播的微生物,悬浮颗粒,和化学挥发性气体。更准确地讲,一个无尘车间具有一个受控的污染级别,污染级别可用每立方米的颗粒数,或者用最大颗粒大小来厘定的。低级别的无尘车间通常是没有经过消毒的(如没有受控的微生物),更在意的是无尘车间中的灰尘。
 
       无尘车间的定义为:将空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除,而得到一个相当洁净的环境。亦即:这个环境中的微尘粒子相当少,称之为无尘车间。无尘车间被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业,例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、和医院内的手术室等行业等,其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内,才不会对制程产生影响。作为生产设施,无尘车间可以占据厂房很多位置。
       无尘车间系统,制造符合规格之洁净空气,连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端,无尘车间内的制造区(FAB)。一般而言,制造洁净空气之气源为外气(OUTSIDE AIR),经过无尘车间系统各种处理单元设备之处理后进而得到符合规格之洁净空气。以下简单介绍其处理流程:外气经由外气空调箱(Make-up Air Unit或MAU)初步过滤微尘(particle)并控制其温湿度后,经由回风管道间(Mech. Chase),将无尘车间之循环风量与外气空调箱之补充风量混合,经由冷却盘管(Dry Cooling Coil)将回风管道间之回风降温至无尘车间要求之规格,透过循环风扇(Fan Filter Unit或FFU)带动无尘车间的气流循环带走微尘及热量,最后经过超高性能过滤网(Ultra-low penetration air或ULPA Filter)过滤后,供应至Fab区。      

无尘车间空调的特性

  1. 温湿度要求比一般空调高
    • 一般空调要求在18°C~26 °C之间,相对湿度则在40%~65%之间;无尘车间空调必须控制在22°C~24 °C之间,相对湿度则在45%~55%。
  2. 恒温恒湿控制
    • 由于半导体制程对温湿度变化的大小极为敏感,故在无尘车间大部分区域必须控制在± 1°C及± 3%之内。
  3. 所需的外气较多
    • 由于半导体工厂中,制程系统需使用大量的化学品和毒气,这些化学品和毒气所产生的挥发气体和废气必须予以全数排除,故排气量相当大,为维持无尘车间压力比外面的大气压力大,此时所补充的空气量亦随之增加。
  4. 空调系统24小时全天运转并监控管理
    • 半导体工厂部分制程设备,对温湿度变化极为敏感,如黄光区Stepper光学机台,些微的温、湿度变化均会使设备的准度偏差,另外芯片等产品也必须置放在定温定湿的环境下,故空调系统必须24小时监控管理之。
  5. 半导体厂无尘车间室内压力大小
    • 半导体厂无尘车间室内压力必须比室外高些许,除了为避免室外的温、湿度、微粒影响无尘车间生产区的环境条件外,并可延长无尘车间ULPAfilter的寿命,但不能无条件增加,如此将使向外逸散的洁净空气增加而增加运转成本。
  6. 气流分布须均匀
    • 无尘车间空调为带走无尘车间内所产生的微尘粒子以维持洁净度故除了气流速度须达到一定之要求标准外,气流的流线形状也必须依不同的无尘车间等级加以适当的控制。

凯发手机版官网 <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链>